Sputtercluster
Beschreibung
Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung beinhaltet eine Kombi-Gerät mit Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage (ion beam etching IBE). Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.
Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Linder Höhe, 51147 Köln
- Art des Auftraggebers
- Gruppe öffentlicher StellenSonstiger Auftraggeber
- Erfüllungsort
- Albert-Einstein-Allee 45, 89081 UlmNUTS DE144
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- nein
- Geschäftszeichen
- ELVIS-ID E57787747
- Veröffentlicht
- abgesendet Do., 10.04.2025, 14:02 Uhr MESZ
- Bekanntmachung
- aa5324ba-bb7e-4564-b0e6-7809ab970cc8Version 1
- Verfahrens-ID
- 9d7443eb-e120-419a-a128-de9a5389fc58
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer des Bundes, Bonn · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.1
- Geschäftszeichen des Loses
- 422/2025/8567036
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung aa5324ba-bb7e-4564-b0e6-7809ab970cc8, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand