Rasterelektronenmikroskop

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Zur Kontrolle und Bewertung der Prozessergebnis-se auf Substraten mit bis zu 150 mm Durchmesser ist ein hochauflösendes Rasterelektronenmik-roskop vorgesehen. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.

Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.