Plasmaanlagen
Ergebnis
| Auftragnehmer | Angebote | Auftragswert | Zuschlag |
|---|---|---|---|
| 1 | 1 € (Platzhalter, kein Auftragswert) | 06.02.2025Vertrag 07.02.2025 |
Beschreibung
Plasmaanlagen für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) und Plasmareinigung zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten
Gegenstand des Loses
Beschafft werden zwei Plasmaanlagen zur Reinigung bzw. Ätzung von bis zu 6 Zoll großen Substraten. Dabei ist eine Anlage zur Reinigung mit Ar und O2 und die zweite für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) mit Ar, O2 und SF6 für den zukünftigen zentralen Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen vorgesehen. Die Plasmaanlagen dienen in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Strukturierung (Ätzen) und Reinigung unterschiedlichster Substrate oder Proben.
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY56DQXW
Eckdaten
- Vergabestelle
- Universität SiegenAdolf-Reichwein-Str. 2a, 57076 Siegen
- Art des Auftraggebers
- Körperschaft des öffentlichen Rechts auf LandesebeneLandesauftraggeber
- Erfüllungsort
- Adolf-Reichwein-Str. 2a, 57076 SiegenNUTS DEA5A
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- nicht angegeben
- Geschäftszeichen
- A10-NL24EOV-EP
- Veröffentlicht
- abgesendet Mo., 10.02.2025, 11:32 Uhr MEZ
- Bekanntmachung
- 1d1ecea0-df7c-4d6b-b92f-0342e514775aVersion 1
- Verfahrens-ID
- 0d86de86-2a3b-42ba-ae1c-2031436f18ff
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster, Münsterzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.2
- Laufzeit
- 06.02.2025 – 07.02.2025
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungansehen
- Vergabediese Seite
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 1d1ecea0-df7c-4d6b-b92f-0342e514775a, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand