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AusschreibungEU-weitLieferleistungenveröffentlicht

Plasmaanlagen

Universität SiegenLandSiegen
Lage: Siegen-Wittgenstein (Kreis), Nordrhein-Westfalen

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Angebotsfrist
abgelaufen vor 668 Tagen
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
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Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
ein Auftrag
Offizielle BekanntmachungVergabeunterlagenÄhnliche per E-Mail

Zusätzliche Informationen

Bekanntmachungs-ID: CXPNY56DG8V

Beschreibung

Plasmaanlagen für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) und Plasmareinigung zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten

Gegenstand des Loses

Beschafft werden zwei Plasmaanlagen zur Reinigung bzw. Ätzung von bis zu 6 Zoll großen Substraten. Dabei ist eine Anlage zur Reinigung mit Ar und O2 und die zweite für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) mit Ar, O2 und SF6 für den zukünftigen zentralen Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen vorgesehen. Die Plasmaanlagen dienen in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Strukturierung (Ätzen) und Reinigung unterschiedlichster Substrate oder Proben.

Eckdaten

Vergabestelle
Universität Siegen
Adolf-Reichwein-Str. 2a, 57076 Siegen
Art des Auftraggebers
Körperschaft des öffentlichen Rechts auf LandesebeneLandesauftraggeber
Erfüllungsort
Adolf-Reichwein-Str. 2a, 57076 SiegenNUTS DEA5A
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistungen
Vergaberegime
EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
Art der Bekanntmachung
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Frist für Bieterfragen
· abgelaufen
Für KMU geeignet
nein
Geschäftszeichen
A10-NL24EOV
Veröffentlicht
abgesendet Di., 19.11.2024, 14:19 Uhr MEZ
Bekanntmachung
8ed07275-ada8-4bd7-8d42-7fd04b94e42dVersion 1
Verfahrens-ID
0d86de86-2a3b-42ba-ae1c-2031436f18ff
Nachprüfungsstelle
Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster, Münsterzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
Datenformat
eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.2
Laufzeit
Laufzeit nicht bekannt

Kategorien (CPV)

42990000Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Verlauf des Verfahrens

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Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 8ed07275-ada8-4bd7-8d42-7fd04b94e42d, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand