Vergabekarte
VergabeEU-weitLieferleistungenveröffentlicht

Plasma Ashing System

Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der WissenschaftenLandGarching b.München · Garching
Lage: München (Landkreis), Bayern
Auftragswert
nicht veröffentlicht
Zuschlag an
Noch kein Zuschlag erteilt
Angebote
nicht veröffentlicht
Bekannt gemacht
So., 25.10.2026
Offizielle Bekanntmachung

Ergebnis

AuftragnehmerAngeboteAuftragswertZuschlag
Noch kein Zuschlag erteilt

Beschreibung

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

Gegenstand des Loses

siehe Leistungsbeschreibung.

Eckdaten

Vergabestelle
Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Walther-Meissner-Str. 8, 85748 Garching
Art des Auftraggebers
Anstalt des öffentlichen Rechts auf LandesebeneLandesauftraggeber
Erfüllungsort
Walther-Meissner-Str. 8, 85748 GarchingNUTS DE21H
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistungen
Vergaberegime
EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
Art der Bekanntmachung
Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Für KMU geeignet
nicht angegeben
Geschäftszeichen
BAdW-WMI-2025-1
Veröffentlicht
abgesendet Fr., 23.10.2026, 16:37 Uhr MESZ
Bekanntmachung
f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5Version 1
Verfahrens-ID
5b0523ad-2b6c-48bf-bea6-5c7a87d9e7ea
Nachprüfungsstelle
Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern, München · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
Datenformat
eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.1
Laufzeit
Unbefristet

Kategorien (CPV)

38000000Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Verlauf des Verfahrens

  1. Ausschreibungansehen
  2. Vergabediese Seite

Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand