AusschreibungEU-weitLieferleistungenveröffentlicht
Plasma Ashing System
Angebotsfrist
abgelaufen vor 484 Tagen
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Die Vergabestelle nennt keinen Wert.
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
ein Auftrag
Offizielle Bekanntmachung (externer Link, neues Fenster)Vergabeunterlagen (externer Link, neues Fenster)Ähnliche per E-Mail
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YZ85Z10
Beschreibung
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Gegenstand des Loses
siehe Leistungsbeschreibung.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der WissenschaftenWalther-Meissner-Str. 8, 85748 Garching
- Art des Auftraggebers
- Anstalt des öffentlichen Rechts auf LandesebeneLandesauftraggeber
- Erfüllungsort
- Walther-Meissner-Str. 8, 85748 GarchingNUTS DE21H
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Frist für Bieterfragen
- · abgelaufen
- Für KMU geeignet
- nein
- Geschäftszeichen
- BAdW-WMI-2025-1
- Veröffentlicht
- abgesendet Mi., 04.06.2025, 11:31 Uhr MESZ
- Bekanntmachung
- e2933cae-386d-4f10-a4a8-75fc250afd2cVersion 1
- Verfahrens-ID
- 5b0523ad-2b6c-48bf-bea6-5c7a87d9e7ea
- Nachprüfungsstelle
- Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern, München · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.0
- Laufzeit
- Unbefristet
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungdiese Seite
- Vergabeansehen
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung e2933cae-386d-4f10-a4a8-75fc250afd2c, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand