Vergabekarte
VergabeEU-weitLieferleistungenveröffentlicht

Ionenstrahltrimanlage

Lage: Paderborn (Kreis), Nordrhein-Westfalen
Auftragswert
922 Tsd. €
922245,10€
Angebote
1
eingegangen
Zuschlag / Vertragsschluss
Do., 22.01.2026
bekannt gemacht 25.01.2026

Ergebnis

Zuschläge nach Losen
AuftragnehmerAngeboteAuftragswertZuschlag
scia Systems GmbHMittleres Unternehmen1922245,10€22.01.2026Vertragsschluss

Beschreibung

Ausgeschrieben wurde eine Ionenstrahltrimmanlage, die im Reinraum des PhoQSLabs der Universität Paderborn betrieben werden soll.
Dort wird es die Aufgabe der Maschine sein, photonisch integrierte Schaltkreise in der Dicke zu trimmen. Weiterhin soll die Anlage unterschiedlichste Wafer auf Dicke trimmen, sodass weniger als 1nm Dickenabweichung pro Wafer realisiert werden können.

Gegenstand des Loses

Ausgeschrieben wurde die Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme am Verwendungsort.

Zusätzliche Informationen

Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Anträge/ Angebote zu.
Für die Übermittlung Ihres Antrags/ Angebotes nutzen Sie bitte ausschließlich das Vergabeportal und das dort bereitgestellte Tool als Kommunikationsmittel.
Anträge/ Angebote, die uns per Fax oder E-Mail erreichen, werden sofort ausgeschlossen! Dies gilt ebenso für Angebote, die postalisch an uns gesendet werden.

Eckdaten

Vergabestelle
Universität Paderborn
Warburger Str. 100, 33098 Paderborn
Art des Auftraggebers
Körperschaft des öffentlichen Rechts auf LandesebeneLandesauftraggeber
Erfüllungsort
PaderbornNUTS DEA47
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistungen
Vergaberegime
EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
Art der Bekanntmachung
Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Für KMU geeignet
nicht angegeben
Geschäftszeichen
200/78/25/1
Veröffentlicht
abgesendet Fr., 23.01.2026, 01:01 Uhr MEZ
Bekanntmachung
99d607da-5a93-4340-9d45-a91071c7091cVersion 1
Verfahrens-ID
9a952fe4-2269-4042-b6de-a48ee6f6fbba
Nachprüfungsstelle
Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster, Münster · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
Datenformat
eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.1
Laufzeit
4 Monate

Kategorien (CPV)

Verlauf des Verfahrens

  1. Ausschreibungansehen
  2. Vergabediese Seite

Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 99d607da-5a93-4340-9d45-a91071c7091c, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand