Ionenstrahltrimanlage
Zusätzliche Informationen
Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Anträge/ Angebote zu.
Für die Übermittlung Ihres Antrags/ Angebotes nutzen Sie bitte ausschließlich das Vergabeportal und das dort bereitgestellte Tool als Kommunikationsmittel.
Anträge/ Angebote, die uns per Fax oder E-Mail erreichen, werden sofort ausgeschlossen! Dies gilt ebenso für Angebote, die postalisch an uns gesendet werden.
Beschreibung
Ausgeschrieben wird eine Ionenstrahltrimmanlage, die im Reinraum des PhoQSLabs der Universität Paderborn betrieben werden soll.
Dort wird es die Aufgabe der Maschine sein, photonisch integrierte Schaltkreise in der Dicke zu trimmen. Weiterhin soll die Anlage unterschiedlichste Wafer auf Dicke trimmen, sodass weniger als 1nm Dickenabweichung pro Wafer realisiert werden können.
Gegenstand des Loses
Ausgeschrieben wird die Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme am Verwendungsort.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Universität PaderbornWarburger Str. 100, 33098 Paderborn
- Art des Auftraggebers
- Körperschaft des öffentlichen Rechts auf LandesebeneLandesauftraggeber
- Erfüllungsort
- PaderbornNUTS DEA47
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Frist für Bieterfragen
- · abgelaufen
- Für KMU geeignet
- nein
- Geschäftszeichen
- 200/78/25/1
- Veröffentlicht
- abgesendet Di., 11.11.2025, 13:04 Uhr MEZ
- Bekanntmachung
- e3f53ce1-efbc-4ee7-8b74-7f8f6bd35758Version 1
- Verfahrens-ID
- 9a952fe4-2269-4042-b6de-a48ee6f6fbba
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster, Münster · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.0
- Laufzeit
- 4 Monate
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungdiese Seite
- Vergabeansehen
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung e3f53ce1-efbc-4ee7-8b74-7f8f6bd35758, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand