X1(AP) XPS System

Ziel des Fraunhofer Institut für Lasertechnik ILT als Auftraggeber (AG) ist der Aufbau eines
Teststands, welcher unter Einhaltung eines Ultrahochvakuums (UHV) vollautomatisch Proben des
Probenstandards PTS-1“ über eine Vakuumschleuse aufnimmt, einlagert, an Bearbeitungsstationen
übergibt und die Oberfläche mittels Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie (XPS) charakterisiert

In o.g. Vorgang wird ein Analysegerät beschafft und in eine Anlage integriert, welche das ILT
zusammengebaut hat. Die Beschaffung bei SPECS ist auf die existierende Anlage am ILT
ausgelegt. Die Anlage wird anschließend an einen den Endkunden Carl Zeiss SMT ausgeliefert.
Für die Beschaffung des Systems bei der Firma SPECS liegt ein Kundenwunsch vor. Dieser ist
durch kundenseitige Erfahrungen und firmeninterner Kompatibilitäten mit weiteren
Analysesystemen begründet. Eine Beschaffung bei einem anderen Lieferanten ist daher nicht
möglich.

Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist. 000