VergabeEU-weitLieferleistungenveröffentlicht
WDH - Maskless Aligner
Auftragswert
nicht veröffentlicht
kein Gesamtwert; Werte je Los unten
Zuschlag an
Angebote
1
eingegangen
Zuschlag / Vertragsschluss
Fr., 14.06.2024
bekannt gemacht 18.06.2024
Ergebnis
| Auftragnehmer | Angebote | Auftragswert | Zuschlag |
|---|---|---|---|
| 1 | 434210€ | 14.06.2024Vertragsschluss |
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRHJUV
Eckdaten
- Vergabestelle
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.07745 Jena
- Art des Auftraggebers
- ZuwendungsempfängerSonstiger Auftraggeber
- Erfüllungsort
- 07745 JenaNUTS DEG03
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- 457300€netto, laut Bekanntmachung
- Für KMU geeignet
- nicht angegeben
- Geschäftszeichen
- 04.24.O.00.wdh
- Veröffentlicht
- abgesendet Mo., 17.06.2024, 09:40 Uhr MESZ
- Bekanntmachung
- 52414573-cedf-450b-bbf1-4809f4fd257dVersion 1
- Verfahrens-ID
- aaa004ff-047e-4efd-9eb7-16a7d89c2d13
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer Thüringen, Weimarzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.1
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungansehen
- Vergabediese Seite
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 52414573-cedf-450b-bbf1-4809f4fd257d, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand