VergabeEU-weitLieferleistungenveröffentlicht
RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR677691 - 2050 -W
Auftragswert
nicht veröffentlicht
Zuschlag an
Ohne Zuschlag beendet
Angebote
2
eingegangen
Bekannt gemacht
Do., 28.11.2024
Ergebnis
| Auftragnehmer | Angebote | Auftragswert | Zuschlag |
|---|---|---|---|
| Ohne Zuschlag beendet – Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen | 2 | kein Wert veröffentlicht | nicht veröffentlicht |
Beschreibung
Gegenstand des Loses
The Fraunhofer IAF plans to purchase an RTP (Rapid Thermal Processing) system. The system should be capable to process 150 and 200 mm wafers on a susceptor or multiple (50 to 100 mm) wafers on a susceptor. The temperature range for
thermal processing should be from ambient temperture up to ≥1450°C.
The process gases used at atmospheric pressure are: N2, Ar, N2O, NH3, O2 and forming gas (N2/H2). All Details of the specification are listed below.
PR677691 - 2050 -W RTP (Rapid Thermal Processing) system
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2Hansastraße 27c, 80686 München
- Art des Auftraggebers
- Öffentliches Unternehmen
- Erfüllungsort
- 79108 Freiburg · Freiburg im BreisgauNUTS DE131
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- nicht angegeben
- Geschäftszeichen
- PR677691 - 2050 -W
- Veröffentlicht
- abgesendet Di., 26.11.2024, 17:09 Uhr MEZ
- Bekanntmachung
- f0f0cce0-9eda-430e-9ed2-64885b6396acVersion 1
- Verfahrens-ID
- b7c27762-c05a-4210-8fcb-052cd5603611
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammern des Bundes, Bonnzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.2
- Laufzeit
- 07.07.2025 – 11.07.2025
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungansehen
- Vergabediese Seiteannulliert
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung f0f0cce0-9eda-430e-9ed2-64885b6396ac, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand