RIE-System - PR466969-3340-W

1 Stk. RIE-System mit Optionen:
12. Durch-die-Wand-Installation
26. Kassetten für 200-mm- und 150-mm-Wafer
(26.1. Jeweils mit 12 Slots
26.2. Temperaturstabil bis 250°C)
125. Erweiterte Garantiezeit -Zusätzliche 12 Monate mit Kosten
127. Wartung / Servicevertrag

Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist. SENTECH ist nicht nur Hersteller von Plasma- Prozess-Technologie sondern fertigt auch eigene Dünnschichtmesstechnik, die für die in-situ Prozessbeobachtung und Endpunktdetektion (z.B. OES) verwendet werden kann. Damit wird ein Komplettsystem aus einer Hand bzw. von einem Hersteller, was den Aufwand beim
Einkauf, der Wartung sowie dem Service minimiert und damit
Kosten spart. Zudem ist die Einbindung der SENTECH
Messtechnik in die SENTECH Plas-masteuerung zu 100%
gegeben und softwareseitige Änderungswünsche lassen sich
relativ problemlos umsetzten.
Andere Anlagenhersteller bieten auch Prozessdiagnostik an,
aber von anderen Lieferanten als sie selbst. Deshalb werden
diese Systeme auch nicht von den Anlagenherstellern gewartet,
kalibriert oder repariert. Da diese Komponenten aber auch nicht
direkt von den Herstellern durch Fraunhofer bezogen wurden,
ist die Kommunikation immer schwierig und kann nur wiederum
über den Anlagenhersteller erfolgen. Das ist sehr zeitintensiv
und mit höheren Kosten verbunden.;