VergabeEU-weitLieferleistungenveröffentlicht
Reaktives-Ionenätzen-System
Auftragswert
0 € (Platzhalter, kein Auftragswert)
Wert des Zuschlags laut Bekanntmachung
Zuschlag an
Angebote
1
eingegangen
Zuschlag erteilt
Do., 07.11.2024
Vertragsschluss 22.11.2024 · bekannt gemacht 27.11.2024
Ergebnis
| Auftragnehmer | Angebote | Auftragswert | Zuschlag |
|---|---|---|---|
| 1 | 0 € (Platzhalter, kein Auftragswert) | 07.11.2024Vertrag 22.11.2024 |
Beschreibung
Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen.
Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - StuttgartLinder Höhe, 51147 Köln
- Art des Auftraggebers
- Gruppe öffentlicher StellenSonstiger Auftraggeber
- Erfüllungsort
- Pfaffenwaldring 38-40, 70569 StuttgarttNUTS DE111
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- nicht angegeben
- Geschäftszeichen
- E83672223
- Veröffentlicht
- abgesendet Mo., 25.11.2024, 12:30 Uhr MEZ
- Bekanntmachung
- 7e1a69c1-02ba-4e2a-aa59-12ba2dab1ebdVersion 1
- Verfahrens-ID
- 1b313e2c-e5c7-4244-a658-4f4d4097fa06
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer des Bundes, Bonn · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.1
- Geschäftszeichen des Loses
- 424/2024/8095898
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungansehen
- Vergabediese Seite
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 7e1a69c1-02ba-4e2a-aa59-12ba2dab1ebd, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand