VergabeEU-weitLieferleistungenveröffentlicht
Promicron Messmikroskop - PR533902-2050-W
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Freiburg im Breisgau
Auftragswert
nicht veröffentlicht
Zuschlag an
Angebote
2
eingegangen
Zuschlag / Vertragsschluss
Fr., 23.08.2024
bekannt gemacht 05.09.2024
Ergebnis
| Auftragnehmer | Angebote | Auftragswert | Zuschlag |
|---|---|---|---|
| 2 | kein Wert veröffentlicht | 23.08.2024Vertragsschluss |
Beschreibung
Gegenstand des Loses
Beschafft wird ein semiautomatisches Metrologie-Mikroskop zur Qualifizierung von lithografischen Prozessen.
Hierbei werden über den Wafer/Maske verteilt an Hand von Teststrukturen Strukturgrößen, Ausrichtungsgenauigkeit und Schichtdicken mit einer Wiederholgenauigkeit von wenigen Nanometern ausgemessen und statistisch ausgewertet.
Promicron Messmikroskop
Begründung der Direktvergabe
Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist. durch das Alleinstellungsmerkmal kann das Gerät nur von diesem Unternehmen beschafft werden.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Hansastraße 27c, 80686 München
- Art des Auftraggebers
- Öffentliches Unternehmen
- Erfüllungsort
- Freiburg im BreisgauNUTS DE131
- Verfahrensart
- Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- nicht angegeben
- Geschäftszeichen
- PR533902-2050-W
- Veröffentlicht
- abgesendet Mi., 04.09.2024, 13:45 Uhr MESZ
- Bekanntmachung
- e2b2fb66-625e-4ef3-a554-451ea8c7d8d5Version 1
- Verfahrens-ID
- 50c264c6-e369-4f51-83c6-deb28c50327b
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammern des Bundes, Bonnzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.1
Kategorien (CPV)
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung e2b2fb66-625e-4ef3-a554-451ea8c7d8d5, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand