VergabeEU-weitLieferleistungenveröffentlicht
Optisches Topografie Messsystem (Weißlichtinterferometer) - PR860141-2480-W
Auftragswert
nicht veröffentlicht
Angebote
3
eingegangen
Zuschlag / Vertragsschluss
Mo., 15.09.2025
bekannt gemacht 16.09.2025
Ergebnis
| Auftragnehmer | Angebote | Auftragswert | Zuschlag |
|---|---|---|---|
| 3 | kein Wert veröffentlicht | 15.09.2025Vertragsschluss |
Beschreibung
Gegenstand des Loses
1 Stück
Das zu beschaffende optische Topografie Messsystem soll für verschiedene Messaufgaben im Herstellungsprozess von MOEMS und MEMS verwendet werden. Dazu gehören z.B.: die Messung von Mikrospiegel-Planaritäten, Mikrospiegel-Vorauslenkungen, Planarität von Ultraschallwandlermembranen, Messung von Grubentiefen in Silizium bei hohen Aspektverhältnissen, sowie die Bestimmung der Ebenheit und Rauheit von div. Mikroaktoren.
Optisches Topografie Messsystem (Weißlichtinterferometer)
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Hansastraße 27c, 80686 München
- Art des Auftraggebers
- Öffentliches Unternehmen
- Erfüllungsort
- 01109 DresdenNUTS DED21
- Verfahrensart
- Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- nicht angegeben
- Geschäftszeichen
- PR860141-2480-W
- Veröffentlicht
- abgesendet Mo., 15.09.2025, 14:30 Uhr MESZ
- Bekanntmachung
- b72d39f3-483c-4180-80a3-b438cd8d7b79Version 1
- Verfahrens-ID
- 1062ce3d-e73a-4360-adc9-1e5d4d83d7d4
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammern des Bundes, Bonnzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.0
- Laufzeit
- 02.02.2026 – 06.02.2026
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungansehen
- Vergabediese Seite
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung b72d39f3-483c-4180-80a3-b438cd8d7b79, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand