Linearverdampfersystem - PR532974-2350-W

für ein
"Verdampfersystem zur Abscheidung von Perowskit- und Kontaktschichten"
Das Projektvorhaben LiverPool soll das Fraunhofer ISE in die Lage versetzten, skalierbare Aufdampfprozesse auf Basis von Verdampfersystemen für Perowskit-Materialien aber auch für Kontaktschichten zu entwickeln. Hierzu soll ein Aufdampfsystem aufgebaut werden, welches es ermöglicht, möglichst produktionsnahe Prozesse und Technologien zur Abscheidung von Perowskiten und Kontaktschichten zu entwickeln. Die Anlage soll mehrere M12-Wafer (210 x 210 mm²) vollflächig in einem Prozessschritt beschichten können. Hiermit kann zum einen die Entwicklung der Zelltechnologie vorangetrieben werden, aber auch der Durchsatz für die Herstellung von Zellen am Fraunhofer ISE so gesteigert werden, dass mit
den hergestellten Zellen auch Module zur Stabilitätscharakterisierung gebaut und analysiert werden können. Um dieses Projekt umsetzen zu können benötigen wir einen großen Verdampfer für die Abscheidung von Perowskitschichten und Kontaktschichten. Das Tool soll zur Entwicklung neuartiger Materialen und Prozesse verwendet werden, sowie als Basistechnologie für Teilprozesse zur Herstellung höchsteffizienter Solarzellen industrieller Größe, in moderaten Stückzahlen. Das Potential von Materialen und Prozessen, sowie deren Skalierbarkeit hinsichtlich industrieller Anwendung soll aufgezeigt werden können. Dies bedeutet, dass eine Anlage mit starkem R&D Charakter, entsprechender Flexibilität und trotzdem industrierelevanter Ausstattung und Beschichtungsfläche benötigt wird. Im
Gegensatz zu üblichen Industrieanlagen ist für diese Forschungsanlage die Möglichkeit zur Bestückung und Entnahme der Substrate unter inerter Atmosphäre gewünscht. Die Anlage soll mind. 3 Materialien aus den Verbindungen PbX2 und CsX (X=Iod, Brom, Chlor) aus separaten Quellen verdampfen können. In einer separaten Kammer soll die Verdampfung von 2 organischen Kontaktschichten möglich sein. Die Anlage sollte in einem kontinuierlichen Betrieb 40x M12 Wafer pro Tag (8h) beschichten können. Das Tool wird Bestandteil einer R&D Laborumgebung sein, in der weitere Teilprozesse zur entsprechenden Solarzellenherstellung evaluiert werden. Die effiziente Einbindung des Tools in die zu entwickelnde Gesamtprozesskette und die spezifische Laborumgebung stellt ein
wesentliches Bewertungskriterium dar.

Linearverdampfersystem