Inline XPS/XRF (IPMS-CNT03.1) - PR930836-2480-P

1 Stück Inline XPS/XRF

Ein Ultrahochvakuum-Röntgenphotoelektronenspektrometer, das mit einer monochromatischen Röntgenquelle, Sputter- und winkelaufgelöster XPS und Ladungskompensation ausgestattet ist. Dieses Röntgen-Photoelektronenspektrometer wird zur Charakterisierung von dünnen Filmen und Multilayern durch Analyse der Zusammensetzung und Stöchiometrie auf Silizium-Wafern mit einem Durchmesser von 300 und 200 mm verwendet. Dieses Röntgen-Photoelektronenspektrometer wird in-line im Reinraum eingesetzt.

Optionale Leistungspositionen:
20.1 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Gewährleistungszzeit um weitere 12 Monate. ja / nein; Bitte als Option angeben
20.2 Zusätzlicher Röntgenstrahler Monochromated CrKα ja / nein; Bitte als Option angeben
20.3 Zusätzlicher Röntgenstrahler Monochromated AgLα ja / nein; Bitte als Option angeben
20.4 Zusätzliche Sputterquelle Argon-Cluster-Ionenquelle mit abstimmbarer Clustergröße ja / nein; Bitte als Option angeben
20.5 Ultraviolettquelle He I / He II Ultraviolettquelle zur Durchführung von Ultraviolett-Photoelektronenspektroskopie (UPS) ja / nein; Bitte geben Sie als Option an
20.6 Elektronenmikroskopie Raster-Auger-Mikroskopie (SAM) / Raster-Elektronenmikroskopie (SEM) mit abstimmbarem Energiebereich und einer Auflösung < 2 µm. ja / nein; Bitte als Option angeben
20.7 Streuspektroskopie Niederenergetische Ionenstreuspektroskopie (LEISS) für ultra-oberflächenempfindliche Analysen. ja / nein; Bitte als Option angeben

Inline XPS/XRF (IPMS-CNT03.1)

Die vollständigen Eignungskriterien finden Sie hier:
https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1971148d901-471ca428e71e2ded

The complete eligibility criteria can be found here:

https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1971148d901-471ca428e71e2ded