Digestorien IZHH

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft.
Gegenstand der vorliegenden Ausschreibung ist insofern die Beschaffung von 5 Digestorien (Nassbänken) für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum. Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.
Die Leistung umfasst die Lieferung und Einbringung der Digestorien in die Laborräumlichkeiten am Innovationszentrum Hamburg des Auftraggebers einschließlich Demonstration, Schulung und Inbetriebnahme sowie anschließendem Service/Wartung.