Low-pressure CVD-Anlage - PR1268522-3380-W
Teilnahmefrist: noch 12 Tage
| Auftragnehmer | Angebote | Auftragswert | Zuschlag |
|---|---|---|---|
| 1 | kein Wert veröffentlicht | 26.06.2026Vertragsschluss |
Lieferung einer CVD-Anlage (CVD: chemical vapor deposition = chemische Gasphasenabscheidung) zur Herstellung dünner Schichten aus Übergangsmetall-Dichalkogeniden und Gallium-Monochalkogeniden auf verschiedenen Substraten mit Substratgrößen bis zu 4 Zoll, inklusive Lieferung und inbetriebnahme. Die genauen Spezifikationen können der Leistungsbeschreibung entnommen werden.
Der Antrag auf Nachprüfung ist gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB unzulässig, soweit
1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
§ 160 Abs. 3 Satz 1 GWB gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt."
Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf Schriftstücken wie Angeboten, Rechnungen oder Lieferscheinen abgebildet sein.
Bewerber-/Bieterfragen können nur über das Bewerber-/Bietertool "Kommunikation" auf der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de bis zur Fristsetzung gestellt werden und werden nur über die Vergabeplattform beantwortet. Der Auftraggeber weist darauf hin, dass interessierte Unternehmen im Falle von Bewerber-/Bieterfragen und/oder notwendigen Änderungen an den Vergabeunterlagen nur kontaktiert werden können, wenn sie sich unter Angabe einer E-Mailadresse freiwillig bei der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de registrieren. Soweit eine freiwillige Registrierung nicht erfolgt, können keine zusätzlichen Informationen übermittelt werden. Nicht registrierte Bewerber/Bieter sind selber dafür verantwortlich, auf der Vergabeplattform regelmäßig zu prüfen, ob neue Nachrichten vorliegen. Das Risiko der vollständigen und lesbaren Übermittlung des Auskunftsersuchens trägt der anfragende Bewerber/Bieter.
Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist. Im vorliegenden Fall handelt es sich um eine Ausnahme gemäß § 14 Abs. 4 Nr. 2b VgV.
Bei der zu beschaffenden CVD-Anlage kommt es aufgrund der beabsichtigten Einsatzbereiche auf sehr bestimmte, technische Spezifikationen an.
Die Anlage wird für die Herstellung dünner Schichten für verschiedene Substrate mit Substratgrößen bis zu 4 Zoll benötigt. Die Anlage muss Schichtdicken bis herab zu Monolagen (Dicke < 1 nm), sowie Heterostrukturen aus unterschiedlichen Materialien mit möglichst geringer Kreuzkontamination ermöglichen und aus zwei getrennten Wachstumskammern bestehen, die durch eine Transferkammer miteinander verbunden sind und über einen optischen Zugang zur Wachstumszone verfügen.
Parallel zu dem durchgeführten Verhandlungsverfahren wurde eine freiwillige Ex-Ante Transparenzbekanntmachung durchgeführt. Somit ist im Vorfeld eine Bekanntmachung über die beabsichtigte Vergabe erfolgt.
Teilnahmefrist: noch 12 Tage
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 3ea147a9-1e27-4e72-96a7-3d4bf31309bc, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand