CMP Anlage
Ergebnis
| Auftragnehmer | Angebote | Auftragswert | Zuschlag |
|---|---|---|---|
| 1 | 120044,88€ | 07.05.2026Vertragsschluss |
Beschreibung
Gegenstand des Loses
Das Institut für Halbleiteroptik und funktionelle Grenzflächen (IHFG) hat InAs-Quantenpunkte (QDs) entwickelt, die im C-Band des Telekommunikationsbereichs emittieren. Dazu wurde eine metamorphe Pufferschicht (MMB) aus InGaAs zwischen der aktiven QD-Schicht und dem GaAs-Substrat eingesetzt, um die Spannung im System zu manipulieren. Um die optische Qualität, insbesondere die Emissionslinienbreite, deutlich zu verbessern, müssen in einem nächsten Schritt die MMB-Schichten durch Präzisionspolieren mechanisch entfernt werden. Die Entfernung der MMB würde nicht nur die Emissionseigenschaften verbessern, sondern auch die Herstellung spannungsfreier QD-Membranen erleichtern, was den Weg für die Herstellung von hochleistungsfähigen photonischen Strukturen mit hoher Ausbeute ebnen würde. Um dies zu erreichen, ist ein Präzisionspoliersystem erforderlich, das III-V-Materialien auf eine Oberflächenrauheit möglichst im Sub-Nanometerbereich (RMS < 1 nm) polieren kann und eine ausgezeichnete Kontrolle der Gesamtdickenabweichung (TTV) sowie eine hohe Reproduzierbarkeit bietet. Darüber hinaus wäre es mit einem solchen Poliersystem möglich, III-V/Si-basierte quantenphotonische integrierte Schaltungen (QPICs) durch direktes Bonden zu realisieren.
Zusätzliche Informationen
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Zuschlagskriterien für diese Ausschreibung:
Preis: 40 Punkte (40%)
Technische Leistung (Oberflächenbeschaffenheit und TTV): 40 Punkte (40%)
Prozesssteuerung, Modularität und Support: 20 (20%)
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Zahlungsbedingungen sind in § 7 der AGB der Universität Stuttgart geregelt. Zahlungen der Universität an den Auftragnehmer vor Erhalt des Gegenstandes/der Dienstleistung sind nach der Landeshaushaltsordnung für Baden-Württemberg (§56 LHO) grundsätzlich verboten. Ist eine Vorleistung im Ausnahmefall erforderlich, weil der Gegenstand/die Dienstleistung ansonsten nicht beschafft werden könnte, so muss die Vorleistung mittels einer selbstschuldnerische Bankbürgschaft (§§ 232, 1113 ff., 1191 ff. BGB) abgesichert werden.
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Information zur Umsetzung der datenschutzrechtlichen Vorgaben nach der Datenschutzgrundverordnung (DSGVO) an der Universität Stuttgart.
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Fragen sind ausschließlich elektronisch über das Vergabeportal unter Bezugnahme auf den jeweiligen Anhang sowie unter Nennung des jeweiligen Abschnitts bzw. des Paragraphen zu stellen. Verbindlicher Bestandteil der Vergabeunterlagen werden nur die über das Vergabeportal erteilten Antworten. Mündliche Auskünfte und Erklärungen haben keine Gültigkeit.
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Support und Beratung zum Vergabeportal: Anleitungen und Tutorials: https://support.cosinex.de/ Beratung: [E-Mail entfernt]
Eckdaten
- Vergabestelle
- Universität StuttgartKeplerstraße 7, 70174 Stuttgart
- Art des Auftraggebers
- Körperschaft des öffentlichen Rechts auf LandesebeneLandesauftraggeber
- Erfüllungsort
- Universität Stuttgart, Institut für Halbleiteroptik und Funktionelle Grenzflächen, Allmandring 3, 70569 StuttgartNUTS DE111
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- nicht angegeben
- Geschäftszeichen
- 25-177
- Veröffentlicht
- abgesendet Di., 12.05.2026, 12:05 Uhr MESZ
- Bekanntmachung
- 23f7c8f6-420d-4c92-8ab0-2454857b37dbVersion 1
- Verfahrens-ID
- 8bf486e5-b33c-4ab1-8b53-1c632e1b376c
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer Baden-Württemberg im Regierungspräsidium Karlsruhe, Karlsruhe · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.1
- Laufzeit
- 126 Tage
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungansehen
- Vergabediese Seite
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 23f7c8f6-420d-4c92-8ab0-2454857b37db, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand