05-24E1VV

3D-Digitalmikroskop

Der Vertrag wird frühestens 10 Kalendertage nach Veröffentlichung
dieser Bekanntmachung geschlossen werden (§ 135 Abs. 3S. 1 Nr. 3 GWB).

Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist. Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist Sonstige Begründung: Der Auftrag ist gem. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) ii) RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VGV) im Verhandlungsverfahren als Direktvergabe zu vergeben, da der Auftragnehmer alleiniger Lieferant der geforderten Leistungen ist. Beabsichtigt ist die Beschaffung eines eines modularen Digitalmikroskops zur Prozesskontrolle für den bestehenden und zukünftigen zentralen Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen.Das Digitalmikroskop dient in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Prozesskontrolle von strukturierten halbleitenden, metallischen und dielektrischen Dünnschichten sowie von 2D-Materialien. . Das hier beschaffte flexibel einsetzbare und präzise 3D-fähige Digitalmikroskop zur Prozesskontrolle (laterale Auflösung & Topographie) über 6“ Substrate muss eine laterale Auflösung von mind. 300 nm sowie eine 3D-Profilmessung inkl. Rauheitsmessung (Linien- u. Oberflächenrauheit) angelehnt an ISO 4287:1997 u. ISO 135565:1996 aufweisen. Eine 3D-Aufnahmefähigkeit & z-Auflösung im µm-Bereich ist essenziell erforderlich zur Prozesskontrolle der Kantensteilheit von Ätzprozessen und Lackprofilen.
Um dem Bedarf interdisziplinärer Forschergruppen der Universität Siegen gerecht zu werden (Nanopyhsik, Chemie, Nanotechnologie, Maschinenbau) muss das Mikroskop modular „in einem Gerät“ mit einer Laser-induzierten Plasmaspektroskopie (LIPS) für Materialanalysen erweiterbar sein. Das Gerät wird essenzieller Bestandteil der Technologie des sich im Aufbau befindlichen, landesgeförderten Forschungszentrums der Universität Siegen (INCYTE) mit 600m2 Reinraum, der 2024 in Betrieb gehen wird. Die Universität verfolgt dabei die Strategie, die technologische Infrastruktur für die Bauelement- und Materialentwicklung am Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), am Center for Innovative Materials (Cm) und am Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ) zu zentralisieren, um Forschungsgeräte effektiver nutzbar zu machen. Um dem breiten Anforderungsprofil der Nutzer gerecht zu werden, zeichnet sich das Mikroskop weiterhin durch ein stufenlos schwenkbares Stativ bis 90° aus (bei z-Achsenverstellung verbleibt Objekt im Mittelpunkt Sichtfeld ohne Objekttischbewegung). Flexibilität wird erzielt durch einen Revolver umfassend vier Objektive mit kleine Vergrößerung 20x-100x, mittlerer Vergrößerung 100x-500x, großer Vergrößerung 500x-2500x und sehr großer Vergrößerung 2500x-6000x um diverse Probenszenarien zu visualisieren. Einfache Bedienbarkeit und publikations-standard kompatible Datenspeicherung als JPEG, TIFF u. CSV (Profilmessdaten) sowie 4K Bildauflösung u. -export müssen erfüllt sein, ebenso wie Echtzeit 3D-Bilderstellung & -Tiefenschärfe sowie ein optischer Schatteneffekt Modus (Erkennung Merkmale <10µm bei makroskopischer Vergrößerung). Für die Bereiche Nanotechnoligie und Maschinenbau essentiell erforderlich sind eine Restschmutzanalyse nach ISO16232 und VDA 19 und eine Korngrößenbestimmung nach ASTM und ISO 643. Alleinstellungsmerkmale Liste Digitalmikroskop:
•4K Fully-Integrated Head mit bis zu vier gleichzeitig anschließbaren hochauflösenden Objektiven: Fünf Objektive: Vergrößerung von 5x bis 6000x möglich mit Objektivwechsel per Mausklick,
Reproduzierbarkeit der Vergrößerungs- und Beleuchtungseinstellungen per Mausklick
•4K-Modus: Auflösung der Aufnahme von 4.000 x 3.000 Pixeln möglich
•4K-Auflösung des Bildschirms
•Live Tiefenschärfe, woraus eine 3D-Darstellung und Vermessung vorgenommen werden kann
•Panorama-Aufnahmen: sowohl in 2D (bis zu 100.000x100.000 Pixel) als auch 3D (bis zu 50.000x50.000 Pixel) möglich
•Fokus-Tracking: Automatische Anpassung der Fokussierung in Echtzeit
•Je nach Stativ-Konfiguration: Stativ mit Neigungswinkelsensorik und stufenlos schwenkbar bis 90°
•Beim stufenlosen Schwenken der Z-Achse bleibt das Objekt im Mittelpunkt des Sichtfelds – ohne, dass sich der Objekttisch bewegt
•Fokusansicht: Intuitives Fokussieren durch visuelle Unterstützung mittels Kamera im Stativ (bei folgenden Stativen: VHX-S770E und VHX-S750E)
•Großer Verfahrbereich von bis zu 300 mm x 300 mm (in Verbindung mit VHX-SL1)
•Flexible Betrachtungsmöglichkeiten: Objektiv und Kamera lassen sich vom Stativ lösen
•Quick Replay-Funktion für die automatische Reproduktion von Aufnahmeeinstellungen und Messungen
•Lichtoptimierung: Automatische Optimierung der Beleuchtungsbedingungen und Lichtwechsel im Live-Bild
•Optischer Abgleich: Automatische Erkennung von Unterschieden durch Vergleich mit Referenzaufnahmen
•Advanced Optical Shadow Effect Mode
oKleinste Merkmale < 10 µm bei einer makroskopischen Vergrößerung erkennen und anschließend analysieren
•Multi-Lighting-Funktion: Alle Beleuchtungsarten in einem Bild gespeichert, sodass eine Bearbeitung mitsamt den Beleuchtungseinstellungen ohne das Objekt auch an externen Rechnern erfolgen kann
•Rauheitsmessung ist angelehnt an ISO 4287:1997 und ISO 13565:1996
•Restschmutzanalyse nach ISO 16232 und VDA 19
•Metallographische Analysen: Korngrößenbestimmung nach ASTM und ISO 643, Gusseisenanalyse nach JIS G5502, JIS G5505, ISO 945-1, ISO 945-2, ISO 945-4, ISO 16112, ASTM A247, ASTM E2567, GB/T 9441, Analyse nichtmetallischer Einschlüsse nach JIS G0555, ISO 4967, GB/T 10561, ASTM E45
•Boroskope und Endoskope können an das Mikroskop angeschlossen werden
Nur aufgrund dieser Alleinstellung kann die Universität Siegen objektiv die im Rahmen zugrunde liegender Fördermaßnahmen bewilligten speziellen wissenschaftlichen Forschungsarbeiten anforderungsgerecht ausführen – mithin wurde keine künstliche Einschränkung der Auftragsvergabeparameter vorgenommen und es gibt keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung i.S.v. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) Satz 2 RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 6 VGV).