Vorpumpen Reinraum

Bekanntmachungs-ID: CXPNY56D7E8

7x Vakuum Vorpumpe zum Betrieb mit toxischen Gasen

Beschafft werden 7 Vorvakuumpumpen für den Einsatz in einer PECVD-Clusteranlage, betrieben in den Räumlichkeiten des INCYTE Forschungsneubaus der Universität Siegen. Prozessbedingt müssen die Pumpen für toxische Gase (Auflistung in Tabelle) ausgelegt sein und die Beaufschlagung eines Gasballastes möglich sein. Der Elektrische Anschluss ist dreiphasig, sowie Vakuumsaug- und Ausgangsseitig mit KF25 Flansch vorzusehen. Die Pumpe darf ölbetrieben sein. Es wird die Lieferung von Neugeräten erwartet. Angebote mit gebrauchtem und/oder generalüberholten Geräten werden von der Wertung ausgeschlossen. Jede Pumpe wird an eine jeweilige Prozess- / bzw. Transferkammer einer PECVD-Clusteranlage zum Erreichen des Vordrucks für die vorgeschalteten Turbopumpen verbaut. Dabei handelt es sich um ein Kammervolumen von jeweils ca. 0,03 m3 sowie eine zusätzliche Vorvakuum-Leitungslänge von ca. 10m. Für alle 7 Pumpen samt Anlieferung, stehen Mittel in Höhe von insgesamt 22.500,00EUR inklusive Umsatzsteuer zur Verfügung.