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AusschreibungEU-weitLieferleistungenveröffentlicht

RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR869261 - 2050 -W

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Öff. UnternehmenFreiburg im Breisgau
Lage: Freiburg im Breisgau (Stadtkreis), Baden-Württemberg

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Angebotsfrist
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Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
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Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
ein Auftrag
Offizielle BekanntmachungVergabeunterlagenÄhnliche per E-Mail

Beschreibung

Gegenstand des Loses

The Fraunhofer IAF plans to purchase an
RTP (Rapid Thermal Processing) system.
The system should be capable to process
150 and 200 mm wafers on a susceptor or
multiple (50 to 100 mm) wafers on a
susceptor. The temperature range for
thermal processing should be from ambient
temperture up to #1450°C.
The process gases used at atmospheric
pressure are: N2, Ar, N2O, NH3, O2 and
forming gas (N2/H2). All Details of the
specification are listed below.

PR869261 - 2050 -W RTP (Rapid Thermal Processing) system

Eckdaten

Vergabestelle
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Hansastraße 27c, 80686 München
Art des Auftraggebers
Öffentliches Unternehmen
Erfüllungsort
79108 Freiburg · Freiburg im BreisgauNUTS DE131
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistungen
Vergaberegime
EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
Art der Bekanntmachung
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Für KMU geeignet
nein
Geschäftszeichen
PR869261 - 2050 -W
Veröffentlicht
abgesendet Mi., 08.01.2025, 14:45 Uhr MEZ
Bekanntmachung
9f6c7f97-cead-4e55-8f04-1df0b6a00983Version 1
Verfahrens-ID
a6ea81ab-95b9-4c88-aacb-feda41e25c81
Nachprüfungsstelle
Vergabekammern des Bundes, Bonnzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
Datenformat
eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.2
Laufzeit
6 Monate

Kategorien (CPV)

42900000Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

Verlauf des Verfahrens

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Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 9f6c7f97-cead-4e55-8f04-1df0b6a00983, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand