AusschreibungEU-weitLieferleistungenveröffentlicht
Process Monitoring Tool
Angebotsfrist
abgelaufen vor 345 Tagen
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Die Vergabestelle nennt keinen Wert.
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
ein Auftrag
Offizielle Bekanntmachung (externer Link, neues Fenster)Vergabeunterlagen (externer Link, neues Fenster)Ähnliche per E-Mail
Beschreibung
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.Am Wolfsmantel 33, 91058 Erlangen
- Art des Auftraggebers
- Öffentliches Unternehmen
- Erfüllungsort
- DresdenNUTS DED21
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- ja
- Geschäftszeichen
- PR1034394 (brueckne)
- Veröffentlicht
- abgesendet Di., 28.10.2025, 14:42 Uhr MEZ
- Bekanntmachung
- a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6Version 1
- Verfahrens-ID
- a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer des Bundes, 53113zuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.0
- Laufzeit
- 01.06.2026 – 31.07.2026
- Geschäftszeichen des Loses
- 0001
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungdiese Seite
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand