Vergabekarte
AusschreibungEU-weitLieferleistungenveröffentlicht

Plasmaverascher IZHH

Lage: Hamburg (kreisfreie Stadt), Hamburg

Die Frist ist abgelaufen

Angebote waren bis möglich. Diese Seite bleibt als Nachweis des Verfahrens erhalten; ob ein Zuschlag bekannt gemacht wurde, zeigt der Verlauf des Verfahrens.
Angebotsfrist
abgelaufen vor 1 029 Tagen
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Die Vergabestelle nennt keinen Wert.
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
ein Auftrag

Zusätzliche Informationen

Das Angebot sowie sämtliche hiermit einzureichenden Nachweise und Erklärungen sind in deutscher Sprache einzureichen. Bei fremdsprachigen Bescheinigungen ist eine Übersetzung in deutscher Sprache beizufügen. Der Auftraggeber behält sich vor, sich Eigenerklärungen des Bieters durch entsprechende Bescheinigungen der zuständigen Stellen bestätigen zu lassen. Alternativ zu den geforderten Eigenerklärungen akzeptiert der Auftraggeber auch die Vorlage einer – mit den entsprechenden Angaben ausgefüllten – Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung (EEE) oder eines Präqualifizierungszertifikates. Für …

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Das Angebot sowie sämtliche hiermit einzureichenden Nachweise und Erklärungen sind in deutscher Sprache einzureichen. Bei fremdsprachigen Bescheinigungen ist eine Übersetzung in deutscher Sprache beizufügen.
Der Auftraggeber behält sich vor, sich Eigenerklärungen des Bieters durch entsprechende Bescheinigungen der zuständigen Stellen bestätigen zu lassen.
Alternativ zu den geforderten Eigenerklärungen akzeptiert der Auftraggeber auch die Vorlage einer – mit den entsprechenden Angaben ausgefüllten – Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung (EEE) oder eines Präqualifizierungszertifikates.
Für das Angebot sind – soweit vorgesehen – die den Vergabeunterlagen beigefügten Formblätter des Auftraggebers zu verwenden, welche über den in der vorliegenden Bekanntmachung benannten Link gebührenfrei selbst abgerufen werden können.
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
1. Mit dem Angebot ist nachzuweisen, dass der Bieter oder ein für die Auftragsausführung vorgesehenes Drittunternehmen nicht wegen eines Verstoßes nach § 21 MiLoG mit einer Geldbuße von wenigstens zweitausendfünfhundert Euro belegt worden sind. Hierfür ist eine entsprechende Eigenerklärung abzugeben. Im Fall der Bewerbung einer Bietergemeinschaft ist die Eigenerklärung für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen. Sind Drittunternehmen als Unterauftragnehmer und/oder eignungsverleihende Unternehmen vorgesehen, ist für die betreffenden Unternehmen jeweils eine entsprechende Eigenerklärung einzureichen.
2. Mit dem Angebot ist zudem nachzuweisen, dass im Unternehmen des Bieters Sozialstandards eingehalten werden, die an den Kernarbeitsnormen der International Labour Organization (ILO) orientiert sind. Im Fall der Bewerbung einer Bietergemeinschaft ist eine entsprechende Eigenerklärung für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen. Sind Drittunternehmen als Unterauftragnehmer und/oder eignungsverleihende Unternehmen vorgesehen, ist für die betreffenden Unternehmen jeweils eine entsprechende Eigenerklärung einzureichen.
3. Vor dem Hintergrund eines geltenden Zuschlagsverbotes in Vergabeverfahren für Bieter mit (unmittelbarem oder mittelbarem) Russlandbezug ist mit dem Angebot von jedem Bieter/ Mitglied einer Bietergemeinschaft zudem eine Erklärung abzugeben, dass kein entsprechender Bezug besteht.
4. Für die Auftragsausführung gelten im Übrigen die Besonderen Einkaufsbedingungen des DLR, die den Vergabeunterlagen beigefügt sind.

Beschreibung

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft.
Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm.
Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung.
Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.
Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Eckdaten

Vergabestelle
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V.
Lilienthalplatz 7, 38108 Braunschweig
Art des Auftraggebers
ZuwendungsempfängerSonstiger Auftraggeber
Erfüllungsort
Lieferort ist die angegebene Adresse oder ein noch zu benennender Lieferort im Stadtgebiet Hamburg., Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. - Quantencomputing-Initiative, Innovationszentrum Hamburg - Gebäude A Erdgeschoss, 22529 HamburgNUTS DE600
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistungen
Vergaberegime
EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
Art der Bekanntmachung
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Frist für Bieterfragen
· abgelaufen
Für KMU geeignet
nein
Geschäftszeichen
2023 / GV 7580110
Veröffentlicht
abgesendet Fr., 01.12.2023, 01:00 Uhr MEZ
Bekanntmachung
8909708d-906a-4e87-88bb-e6aa2d04a461Version 1
Verfahrens-ID
d437b1d1-233f-470c-a89b-a48406901a4e
Nachprüfungsstelle
Vergabekammern des Bundes, Bonn · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
Datenformat
eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.1
Laufzeit
4 Jahre
Optionen
Option des Auftraggebers auf Abschluss eines 1jährigen Service-/Wartungsvertrags mit der weiteren Option, diesen Vertrag dreimal um je ein Jahr zu verlängern

Kategorien (CPV)

Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 8909708d-906a-4e87-88bb-e6aa2d04a461, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand