Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P
Teilnahmefrist: noch 26 Tage
Das Equipment sollte alle Anforderungen der vorliegenden Spezifikation und der mitgeltenden Dokumente erfüllen. Jegliche Änderungen oder Zusätze zur Equipment Spezifikation, die nach dem Kauf getätigt werden, müssen von Anbieter und Fraunhofer IPMS-CNT gegenseitig bestätigt werden.
Das gesamte Equipment und alle Subsysteme müssen chemisch stabil sein. Das Gesamtsystem muss kompatibel zur RR-Klasse 6, in bestimmten Bereichen (z.B. Lithographie, Ultraspurenanalytik) zur RR-Klasse 3 nach EN ISO 14644-1 oder besser sein bzw. kompatibel zu den Anforderungen der mitgeltenden Technical General Tender Spezification (TGTS).
Reinraum-Integrität muss gesichert sein.
Alle Kabel oder andere Verbindungen im Equipment müssen klar erkennbar an beiden Enden und am Equipment selbst in Deutsch oder Englisch und mit Bezug zur mitgelieferten Equipment-Dokumentation gekennzeichnet sein.
PR651747 - 2480 -W Overlay Messsystem
Teilnahmefrist: noch 26 Tage
Angebotsfrist: noch 6 Tage
Angebotsfrist: noch 13 Tage
Teilnahmefrist: noch 140 Tage
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung ee1f8a61-c98e-41b3-8769-e5209160fa9b, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand