Magnetronsputter-System
Beschreibung
Für die Prozessierung von Halbleiterlaserdioden im Rahmen der Forschung und Entwicklung muss ein erprobtes System für das Magnetronsputtern (MSP) beschafft werden. Hierbei muss das MSP-System in der Lage sein dünne Metall- und Metalloxidschichten für Materialabhebungsprozesse (Lift-Off) abzuscheiden. Die Schichten müssen sehr homogen und mit einer hohen Reproduzier-barkeit abgeschieden werden können. Das MSP-System muss in der Lage sein, Reinigungs- und Anätzprozesse im Nanometer-Bereich durchführen zu können.
Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - StuttgartLinder Höhe, 51147 Köln
- Art des Auftraggebers
- Gruppe öffentlicher StellenSonstiger Auftraggeber
- Erfüllungsort
- Pfaffenwaldring 38-40, 70569 StuttgartNUTS DE111
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- nein
- Geschäftszeichen
- 424/2024/8109563
- Veröffentlicht
- abgesendet Mi., 18.09.2024, 17:26 Uhr MESZ
- Bekanntmachung
- 7a022d1e-54c4-4534-b202-4f7ea327bf3cVersion 1
- Verfahrens-ID
- 413434e2-db36-45e8-b4c7-3788a4ebf4f4
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer des Bundes, Bonn · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.1
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungdiese Seite
- Vergabeansehen
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 7a022d1e-54c4-4534-b202-4f7ea327bf3c, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand