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AusschreibungEU-weitLieferleistungenveröffentlicht

LPCVD Cluster (TEOS/nitride/poly/oxidation) (IPMS-MRS06.1) - PR1121717-2480-P

Lage: Dresden (kreisfreie Stadt), Sachsen

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Angebotsfrist
abgelaufen vor 217 Tagen
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Die Vergabestelle nennt keinen Wert.
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
ein Auftrag

Beschreibung

Gegenstand des Loses

1 Stück - LPCVD Cluster

Optionen:
Option 1 - LV Pos. 2.3 - Wafer thickness for thick wafers
Option 2 - LV Pos. 13.3 - The tool is covered by an extended warranty. Please provide information what is covered within this extended warranty (e.g. support, repair and part cost).

LPCVD Cluster (TEOS/nitride/poly/oxidation) (IPMS-MRS06.1)

Eckdaten

Vergabestelle
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Hansastraße 27c, 80686 München
Art des Auftraggebers
Öffentliches Unternehmen
Erfüllungsort
Reinraum Geb. 4, Ebene 3, Maria Reiche Straße 2, 01109 DresdenNUTS DED21
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistungen
Vergaberegime
EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
Art der Bekanntmachung
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Für KMU geeignet
nein
Geschäftszeichen
PR1121717-2480-P
Veröffentlicht
abgesendet Mo., 09.03.2026, 15:30 Uhr MEZ
Bekanntmachung
bfa3937b-2a19-4fad-9a23-9d6f31a56b60Version 1
Verfahrens-ID
8b92184d-1838-4706-9f4d-a82ea6a05d31
Nachprüfungsstelle
Vergabekammern des Bundes, Bonnzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
Datenformat
eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.1
Laufzeit
18 Monate

Kategorien (CPV)

Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung bfa3937b-2a19-4fad-9a23-9d6f31a56b60, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand