Lieferung eines Stylus-Profilometers

1) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.; Straße, Hausnummer: Kurt-Schwabe-Straße 4; Postleitzahl: 04736; Ort: Waldheim; Land: DE; Telefon: [Telefon entfernt]; Fax: [Telefon entfernt]; Internet-Adresse: www.ksi-sensors.de; E-Mail: [E-Mail entfernt]
Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o.
Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o.
2) Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung, Vergabenummer: 2025-2
3) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden.
4) Ggf. in den Fällen des § 29 (3) die Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und die Informationen zum Zugriff auf die Vergabeunterlagen: entfällt
5) Art und Umfang der Leistung: Das KSI Meinsberg betreibt Forschung an dünnen Schichtsystemen, metallischen PVD-Schichten, Fotolacken sowie Mikro-/Nanostrukturen.
Das Profilometer dient zur:
1. Bestimmung von Resistdicken auf Wafern im Bereich ca. 20 nm – 1 µm
2. Analyse metallischer PVD-Schichten (wenige nm bis ~1 µm)
3. Topografie-, Profil- und Rauheitsmessungen an Masken, Lithografiestrukturen und technischen Oberflächen
4. Schonenden Messung empfindlicher Materialien → sehr geringe Messkräfte notwendig
5. Reproduzierbaren Messung kleinster Stufenhöhen im nm-Bereich
Das Gerät muss robuste, hochpräzise und driftarme Messungen auf unterschiedlichen Materialien ermöglichen (Metalle, Polymere, Resist, Oxide, Wafersubstrate).
Ort(e) der Leistungserbringung: Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V; Straße, Hausnummer: Kurt-Schwabe-Straße 4; Postleitzahl: 04736; Ort: Waldheim, Meinsberg; Land: DE
6) Ggf. Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: entfällt, da keine losweise Vergabe
7) Nebenangebote sind zugelassen.
8) Etwaige Bestimmungen über die Ausführungsfrist: Beginn: 18.02.2026, Ende: 30.06.2026, Nach Beauftragung
9) Die Vergabeunterlagen werden auf der Vergabeplattform evergabe.de bereitgestellt. Ein unentgeltlicher Abruf ohne Registrierung ist möglich unter https://www.evergabe.de/unterlagen/3307694/zustellweg-auswaehlen.
10) Angebotsfrist: 26.01.2026, 12:00 Uhr; Bindefrist: 17.02.2026
11) Höhe etwa geforderter Sicherheitsleistungen: keine
12) Wesentliche Zahlungsbedingungen oder Angabe der Unterlagen, in denen sie enthalten sind: Vorauszahlungen gegen Vorlage einer Bankbürgschaft
Rechnungslegung unter: [E-Mail entfernt]
13) Mit dem Angebot oder dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Unterlagen, die der Auftraggeber für die Beurteilung der Eignung des Bewerbers oder Bieters und des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen verlangt: siehe Unterlagen
14) Angabe der Zuschlagskriterien, sofern diese nicht in den Vergabeunterlagen genannt werden: entfällt, siehe Vergabeunterlagen

Labortechnik/ Messtechnik