Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P
Teilnahmefrist: noch 23 Tage
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AusschreibungEU-weitLieferleistungenveröffentlicht
Ion Mill chamber with central handling system and 2 PVD chambers (ENAS-01.1) - PR880932-3340-P
Frist für Teilnahmeanträge
abgelaufen vor 571 Tagen
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Die Vergabestelle nennt keinen Wert.
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Lose
1
ein Auftrag
Offizielle Bekanntmachung (externer Link, neues Fenster)Vergabeunterlagen (externer Link, neues Fenster)Ähnliche per E-Mail
Beschreibung
Gegenstand des Loses
1x Waferbearbeitungs-Anlage mit zentralem Handlingsystem, 1 Kammer für Ionenstrahlätzen und 1 PVD -Kammer zur in-situ-Passievierung und Elektrodenabscheidung beschafft. Die Anlage soll 200 mm Wafer bearbeiten. Die Ionenstrahlätzkammer muss für die Strukturierung von magnetischen Multischichtstapeln (GMR, TMR) geeignet sein. Weiterhin muss diese Kammer mit einem Optischen Emissionsspektrometer (OES) ausgerüstet sein für die Endpunkterkennung. Die PVD-Kammer wird für Abscheidung von SiN-Passivierungsschichten auf den GMR/TME-Strukturen direkt nach der Strukturierung ohne Vakuumunterbrechung und zur Abscheidung von Elektrodensystemen aus Edelmetallen verwendet.
Optionale Merkmale:
- Ersatzsatz von Kammerinnenteilen (Abschirmungen / Shutter), die aufgrund von Beschichtung / Partikelgenerierung zu reinigen sind: Auflistung der benötigten Teile pro Prozesskammer; Angabe der Sätze pro Kammer als Einzelpositionen im Angebot
- weitere Substratmaterialien: wenn möglich auch Quartz
Ion Mill chamber with central handling system and 2 PVD chambers (ENAS-01.1)
Eckdaten
- Vergabestelle
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Hansastraße 27c, 80686 München
- Art des Auftraggebers
- Öffentliches Unternehmen
- Erfüllungsort
- 09126 ChemnitzNUTS DED41
- Verfahrensart
- Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- nein
- Geschäftszeichen
- PR880932-3340-P
- Veröffentlicht
- abgesendet Fr., 21.03.2025, 10:39 Uhr MEZ
- Bekanntmachung
- 4386f4e9-bdac-4e1f-bbfe-0b01a479e55cVersion 1
- Verfahrens-ID
- 37b8926c-50dd-4a32-8475-e7683204065b
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammern des Bundes, Bonnzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.2
- Laufzeit
- 14 Monate
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
- Ausschreibungdiese Seite
- Vergabeansehen
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Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 4386f4e9-bdac-4e1f-bbfe-0b01a479e55c, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand