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AusschreibungNationalveröffentlicht

Integrated Measurement System CMP04

Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMSDresden
Lage: Dresden (kreisfreie Stadt), Sachsen

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Vereinfachte Bekanntmachung (Altformat)

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Angebotsfrist
abgelaufen vor 363 Tagen
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Das Altformat der Quelle enthält keinen Wert.
Verfahren
Öffentliche Ausschreibung
Lose
1
ein Auftrag
Offizielle BekanntmachungVergabeunterlagenÄhnliche per E-Mail

Beschreibung

For an Ebara F-EX200M2 chemical-mechanical-polishing (CMP) system an integrated measurement system is needed. The CMP system is prepared with so called "NOVA ready - kit" which means all connections and the tool frame for an NOVA 2040dry system are available on customer site. Each measurent system needs to be able to fit to this frame and communication connections.

Integrated Measurement System CMP04

Eckdaten

Vergabestelle
Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS
Anschrift nicht veröffentlicht
Art des Auftraggebers
Art des Auftraggebers nicht angegeben
Erfüllungsort
01109 Dresden, Klotzsche · DresdenNUTS DED
Verfahrensart
Öffentliche Ausschreibung
Auftragsart
nicht angegeben
Vergaberegime
Nationale Vergabe (unterhalb der EU-Schwellenwerte)
Rechtsgrundlage
Dienst- und Lieferleistungen (VOL)
Art der Bekanntmachung
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Für KMU geeignet
nicht angegeben
Veröffentlicht
Bekanntmachung
24600066Version 1
Datenformat
Vereinfachte Bekanntmachung (Altformat, ohne Zuschlagsdaten)eforms-sdk-0.1

Kategorien (CPV)

Die Bekanntmachung nennt keinen CPV-Code.

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Keine dieser Ausschreibungen nennt einen geschätzten Wert.

Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 24600066, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand