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AusschreibungEU-weitLieferleistungenveröffentlicht

DUV-Scanner - PR585361-2480-W

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Öff. UnternehmenDresden
Lage: Dresden (kreisfreie Stadt), Sachsen

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Frist für Teilnahmeanträge
abgelaufen vor 965 Tagen
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Die Vergabestelle nennt keinen Wert.
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Lose
1
ein Auftrag
Offizielle BekanntmachungVergabeunterlagenÄhnliche per E-Mail

Zusätzliche Informationen

FMD-QNC Investprojekt

Beschreibung

Gegenstand des Loses

Ausgeschrieben wird eine Anlage die Siliziumwafer mit einem Durchmesser von 300mm mittels 248nm Laser und Maske belichten und dabei das Abbild auf der Maske mittels 4:1 Verkleinerung in eine Lackmaske übertragen soll. Die Anlage soll einzelne und dichte Strukturen mit einer Auflösung ≤110nm definiert belichten und der Lagerversatz soll ≤9nm betragen. In Kombination mit einem TRACK (Cluster/Inline Betrieb) werden Wafer sowohl für Forschungs-, als auch industrielle Zwecke prozessiert.

DUV-Scanner

Eckdaten

Vergabestelle
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Hansastraße 27c, 80686 München
Art des Auftraggebers
Öffentliches Unternehmen
Erfüllungsort
DresdenNUTS DED21
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Auftragsart
Lieferleistungen
Vergaberegime
EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
Art der Bekanntmachung
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Für KMU geeignet
nein
Geschäftszeichen
PR585361-2480-W
Veröffentlicht
abgesendet Fr., 23.02.2024, 10:47 Uhr MEZ
Bekanntmachung
3ac6e65f-cb65-4f41-9fe5-2e857e9ffe88Version 1
Verfahrens-ID
104ab45e-d850-41e6-a9bc-70854bd417ee
Nachprüfungsstelle
VERGABEKAMMER, Bonnzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
Datenformat
eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.1

Kategorien (CPV)

31712100Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Verlauf des Verfahrens

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Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 3ac6e65f-cb65-4f41-9fe5-2e857e9ffe88, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand