Deposition Tool 8 Inch
Beschreibung
The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).
Gegenstand des Loses
siehe Leistungsbeschreibung.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUMWalther-Meißner-Str. 8, 85478 Garching
- Art des Auftraggebers
- Anstalt des öffentlichen Rechts auf LandesebeneLandesauftraggeber
- Erfüllungsort
- Walther-Meissner-Str. 8, 85748 GarchingNUTS DE21H
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- nicht veröffentlicht
- Frist für Bieterfragen
- · abgelaufen
- Für KMU geeignet
- nein
- Geschäftszeichen
- TUM-E23-2026-01
- Veröffentlicht
- abgesendet Do., 20.08.2026, 13:51 Uhr MESZ
- Bekanntmachung
- b635f593-1b0a-4845-8a3f-6e8ade80f88dVersion 1
- Verfahrens-ID
- e06c816c-ffcf-4865-9128-954fd6ae4046
- Nachprüfungsstelle
- Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern, München · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.1
- Laufzeit
- Unbefristet
Kategorien (CPV)
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung b635f593-1b0a-4845-8a3f-6e8ade80f88d, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand