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AusschreibungEU-weitLieferleistungenveröffentlicht

Beschaffung Reactive Ion Etching System

Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester StoffeDresden
Lage: Dresden (kreisfreie Stadt), Sachsen

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Angebotsfrist
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Geschätzter Wert
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Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
ein Auftrag
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Beschreibung

Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung, Lieferung und Installation eines Reactive Ion Etching Systems (RIE).

Gegenstand des Loses

Reaktives Ionenätzen (RIE) ist ein etabliertes Verfahren zur präzisen Strukturierung von Materialien im Nanometerbereich und spielt für unser Institut eine zentrale Rolle in der Bearbeitung zweidimensionaler Materialien. Für unsere geplanten Forschungsarbeiten im Bereich 2D-Materialien benötigen wir ein RIE-System, das ein kontrolliertes, anisotropes Ätzen mit hoher Selektivität und Prozessstabilität ermöglicht. Der zukünftige Einsatzschwerpunkt liegt auf der beschädigungsfreien Strukturierung von empfindlichen, einschichtigen Proben sowie der Übertragung lithografischer Maskenmuster auf nanoskaliger Ebene. Ziel ist es, durch den Einsatz von RIE unter anderem Elektrodenstrukturen auf 2D-Materialien mit hoher Prä-zision und Reproduzierbarkeit herzustellen.

Eckdaten

Vergabestelle
Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Nöthnitzer Str. 40, 01187 Dresden
Art des Auftraggebers
Gruppe öffentlicher StellenSonstiger Auftraggeber
Erfüllungsort
Nöthnitzer Str. 40, 01187 DresdenNUTS DED21
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistungen
Vergaberegime
EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
Art der Bekanntmachung
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Geschätzter Wert
nicht veröffentlicht
Für KMU geeignet
nein
Geschäftszeichen
MPG_MPICPFS-2025-0008
Veröffentlicht
abgesendet Mi., 30.04.2025, 16:21 Uhr MESZ
Bekanntmachung
7d16aa05-986f-4960-ac82-cebb72763556Version 1
Verfahrens-ID
37ffec1a-be1a-445f-ac9e-3631c8fd4cdf
Nachprüfungsstelle
Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern, München · Websitezuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
Datenformat
eForms-Bekanntmachungeforms-de-1.2
Laufzeit
09.06.2025 – 31.12.2025

Kategorien (CPV)

31712100Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Verlauf des Verfahrens

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Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 7d16aa05-986f-4960-ac82-cebb72763556, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand