ALD-Anlage
Änderungen dieser Fassung
Verlängerung der Angebotsfrist bis 01.09.2026, 13 Uhr
Zusätzliche Informationen
Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 549.000 Euro brutto zur Verfügung.
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Eckdaten
- Vergabestelle
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.07745 Jena
- Art des Auftraggebers
- ZuwendungsempfängerSonstiger Auftraggeber
- Erfüllungsort
- 07745 JenaNUTS DEG03
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Vergaberegime
- EU-weite Vergabe (oberhalb der EU-Schwellenwerte)
- Rechtsgrundlage
- Richtlinie 2014/24/EU (öffentliche Auftragsvergabe)VgV
- Art der Bekanntmachung
- Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
- Geschätzter Wert
- 461344€netto, laut Bekanntmachung
- Frist für Bieterfragen
- · abgelaufen
- Für KMU geeignet
- nein
- Geschäftszeichen
- 01.26.O.00
- Veröffentlicht
- abgesendet Di., 25.08.2026, 11:17 Uhr MESZ
- Bekanntmachung
- 3e3d3348-95e9-412e-abbd-3eac3f140c72Version 1
- Verfahrens-ID
- 57f11d62-9298-47b4-ba2c-1f6ddc1f276c
- Nachprüfungsstelle
- Vergabekammer Thüringen, Weimarzuständig für Rügen und Nachprüfungsanträge
- Datenformat
- eForms-Bekanntmachungeforms-de-2.1
- Laufzeit
- 28.08.2026 – 05.09.2027
Kategorien (CPV)
Verlauf des Verfahrens
Versionen dieser Bekanntmachung
Verlängerung der Angebotsfrist bis 01.09.2026, 13 Uhr
- Version 1Aktualisierte Informationendiese Seite
Quelle Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de) (CC0) · Bekanntmachung 3e3d3348-95e9-412e-abbd-3eac3f140c72, Version 1 · bei uns aktualisiert · Stand